主动隔振弹簧
主动隔振弹簧是主动隔振系统中的执行部件，与HAC控制器配套协同工作。接收控制器发出的补偿信号后产生反向作用力，抵消低频振动，弥补被动隔振单元低频减振短板。 产品结构紧凑，承载力稳定，主要应用于光学检测、半导体设备、精密测量仪器等对振动控制要求严苛的场景。
主动隔振弹簧作为整套主动隔振系统的执行机构，需要搭配HAC高精度主动隔振控制器联合运行。振动传感器采集扰动信号传输至控制器运算后，本执行弹簧接收控制指令，快速输出动态补偿力，主动抵消来自地面的低频振动，解决传统被动式空气弹簧在低频段隔振效率不足的行业痛点。
产品采用一体化金属壳体结构，整体刚性强，安装台面预留标准阵列安装孔位，方便各类光学平台、精密设备直接固定；侧面集成标准化电气接口，可快速完成与控制系统的接线调试。设备响应速度快、动态补偿精度高，能够持续输出稳定的减振驱动力。
该执行单元广泛配套于科研实验室及高端制造领域，适配透射电镜、激光光刻设备、高精度三维检测仪器等设备，为精密设备提供超稳的工作支撑。
产品特点：
1.空气弹簧主支撑
2.独特的刚度机构设计
3.6自由度高性能主动减振和稳姿能力
4.高速响应高性能减振
应用范围：
半导体与微电子行业
精密光学与激光领域
高端精密检测与计量
技术指标：
单腿承载范围：800kg ~ 7000kg，可根据设备总重与布局配置多腿组合方案
隔振自由度：6 自由度全域主动控制，覆盖垂向、水平向及转动自由度
振动传递率：1Hz 频段 ≤ -10dB；2Hz 频段 ≤ -15dB；5Hz 频段 ≤ -25dB
核心结构：空气弹簧主支撑 + 被动隔振体 + 多轴主动执行器复合架构
适配精度等级：适配 VC-D 及以上超高精密振动控制等级
规格型号：
参数 | SFEO80A | SFE150A | SFE300A | SFE500A |
|---|---|---|---|---|
隔振体 | 空气弹簧 | 空气弹簧 | 空气弹簧 | 空气弹簧 |
单腿最大承载能力 | ≤800kg | ≤1500kg | ≤3000kg | ≤5000kg |
四腿支撑承载能力 | ≤3200kg | ≤6000kg | ≤12000kg | ≤20000kg |
单腿尺寸 | 300300150(LWH mm) | 360360197(LWH mm) | 400400213(LWH mm) | 500500223(LWH mm) |
单腿重量 | ≤21kg | ≤35kg | ≤49kg | ≤70kg |
系统减振自由度 | 6 | 6 | 6 | 6 |
主动隔振带宽 | 0.8~150Hz | 0.8~150Hz | 0.8~150Hz | 0.8~150Hz |
传递率 | ≤-5dB@1Hz,≤-15dB@5Hz ≤-25dB@10Hz | ≤-5dB@1Hz,≤-15dB@5Hz ≤-25dB@10Hz | ≤-5dB@1Hz,≤-15dB@5Hz ≤-25dB@10Hz | ≤-5dB@1Hz,≤-15dB@5Hz ≤-25dB@10Hz |
单腿水平电机峰值推力 | 30N | 30N | 30N | 30N |
单腿垂向电机峰值推力 | 30N | 30N | 30N | 30N |
系统支持最大功率 | 400W | 400W | 400W | 400W |