薄膜空气弹簧

薄膜空气弹簧是高性能气浮隔振核心元件，采用柔性橡胶薄膜密闭气囊结构，区别于传统囊式空气弹簧。依靠气囊内部压缩空气实现弹性支承，具备极低固有频率、优良竖向与横向隔振性能。

产品选用耐老化特种橡胶膜体，气密性持久稳定；刚度柔和，负载适配区间宽，能够有效隔绝地面高频振动传递。配套主动减振系统可实现台面快速调平、主动抑振，大幅削弱外部扰动带来的台面波动。

可广泛搭配花岗岩平台、精密检测设备、半导体量测仪器、光学平台、电子电镜等装备使用。支持多种安装规格定制，结构紧凑，便于分体式、一体式减振平台集成，是超精密制造领域实现低振动环境的优选隔振部件。

产品特点：

采用铝制主体结构 + 薄壁柔性隔膜的密封气室设计，柱塞集成于隔膜并嵌入气室，是精密级隔振的主流技术方案；

垂直方向固有频率低至 2.5~3Hz，水平方向 2.8~3.5Hz，可高效隔离地面微振动；

可通过外置调节阀从外部调整阻尼效果，按需调整系统刚度与隔振性能，适配冲击、稳态等多种振动场景。

配套LSD 系列高精度水平控制阀等精密气动元件，组成完整的气浮隔振系统，实现负载自适应、自动充放气调平

应用范围：

应用于半导体制造与检测设备、扫描电镜、激光加工装置、精密运动台、三坐标测量仪、视觉检测设备、高端精密制造装备等对微振动高度敏感的场景，是气浮光学平台、大理石气浮隔振平台、精密设备专属隔振基座的核心隔振单元。

技术指标：

固有频率：垂直：2.5 ~ 3 Hz，水平：2.8 ~ 3.5 Hz

工作压力范围：0.4 ~ 0.6 MPa

工作温度范围：-20℃ ~ +80℃

水平最大运动幅度：≤1.2 mm（依型号略有差异）

阻尼调节能力：支持外置调节阀调节

规格型号：