大理石气浮隔振平台是以天然花岗岩作为台面的气浮隔振基座。花岗岩经过时效处理，具备极高结构刚性、热稳定性好、不易形变，平面度精度优异，可长期维持台面几何精度。

平台底部配置薄膜空气弹簧隔振单元与水平调平阀，依靠压缩空气形成气浮支承，具备较低固有频率，能够有效滤除来自地面的高频振动干扰；调平阀可自动调节高度，实时维持台面水平。整体无电磁干扰，运行可靠。

产品常作为精密检测设备的承载基座，广泛用于计量实验室、半导体检测、光学实验、三坐标测量等领域，为各类高精度仪器提供稳定可靠的隔振支撑环境。

产品特点：

1.隔振系统采用AS系列薄膜空气弹簧，固有频率低至 2.5Hz，可有效隔绝地面微振动，隔振性能远优于普通隔振平台；

2.配备高精度水平控制阀，支持自动调平，运行稳定可靠；

3.台面采用天然花岗石材质，质地均匀、内部无残余应力，长期精度保持性优异

4.工作面经精密研磨加工，平面度最高可达 1μm/㎡；

5.平台尺寸，厚度支持定制

应用范围：

适用于半导体制造与检测设备、电子显微镜、激光加工装置、精密运动台、精密制造装备、视觉检测设备、光路测试、光学测量、激光干涉仪等对振动控制与台面平面度要求极高的精密设备，为超精密检测、加工、科研实验场景提供稳定的隔振承载基准。

技术指标：

1.隔振系统：AS系列薄膜空气弹簧+高精度水平控制阀；

2.固有频率：垂直方向 2.5~3Hz；水平方向 2.8~3.5Hz；

3.工作压力范围:0.4-0.6MPa

4.台面材质：天然花岗石，工作面经精密研磨处理；

5.平面度精度：最高可达 1μm/㎡

6.调平方式：高精度自动水平控制阀，自动充气调平，自适应载荷变化。