高精度薄膜空气弹簧

高精度薄膜空气弹簧属于被动式气浮隔振元件，依靠密闭气囊内部压缩空气实现弹性支承，无需外部电控驱动，是精密设备被动隔振系统的核心部件。

产品采用薄膜式密封结构，具备极低的固有频率，可高效隔离来自地面的振动干扰，能够有效衰减外界高频振动传导至设备，运行过程平稳，无电磁干扰，可靠性强。

该款空气弹簧广泛适配大理石光学平台、三坐标测量仪、半导体检测设备等精密仪器，常与调平控制阀（Levelling Valve）配套使用，为计量、光学检测类设备提供稳定的被动隔振环境。

产品特点：

垂直固有频率低至 1Hz，迈入超低频隔振区间，相比常规 2.5~3Hz 的薄膜空气弹簧，对地面低频微振动的隔离能力显著提升；

具备优异的水平方向定位与复位精度，在负载波动、动态扰动下可快速恢复至基准位置，位置稳定性远超普通气弹簧；

根据客户现场装备的安装空间、承载需求、接口形式、性能指标进行专项定制开发，适配各类非标精密设备的专属隔振需求。

应用范围：

适用于光学设备、高端检测仪器、半导体制造与检测装备、航空航天精密装置、高端医疗精密仪器、超精密运动平台等对微振动极度敏感的领域，专门针对常规气浮隔振方案无法满足精度要求的超低频微振动控制场景。

技术指标：

固有频率：垂直：低至1Hz，水平：1 ~ 3.5 Hz

工作压力范围：0.4 ~ 0.6 MPa

工作温度范围：-20℃ ~ +80℃

水平最大运动幅度：≤1.2 mm

阻尼调节能力：支持外置调节阀调节

规格型号：

该产品为定制产品，需根据设备及隔振要求进行定制，无固定规格型号。

下图为定制产品隔振检测效果图实例