
水平控制阀
水平控制阀是空气弹簧隔振系统的核心配套部件,用于实现设备的自动水平调节。它可实时感知负载变化,通过控制气路气流,自动补偿高度偏差,维持设备水平姿态,保证隔振系统的运行基准稳定。 该阀响应灵敏,调节精度高,可配合多组空气弹簧协同工作,适配精密机床、光学检测、半导体设备等高精度工况,安装简单,运行可靠,有效保障精密设备的工作精度。
水平控制阀
水平控制阀是精密气浮隔振系统的核心控制元件,主要配合空气弹簧、气浮平台使用,用于实现设备高度自动平衡与水平精度控制。设备在负载变化、受力偏移、地面微变形等工况下,阀体可实时感应高度偏差,通过自动进气、排气快速补偿高度差,使设备台面始终保持水平、稳定的基准状态。
本款水平控制阀采用高精度机械感应结构,调节灵敏度高、控平精度优异,响应速度平稳无冲击。工作过程中可自动适配轻重负载变化,持续修正设备倾斜与高低误差,有效解决设备偏载、台面晃动、基准偏移等问题,保证隔振系统长期稳定运行。产品结构坚固耐用,气密性稳定,无需频繁人工调试,抗疲劳、可靠性高,可长期连续工作。
阀体体积小巧、安装便捷、通用性强,支持单台独立控平与多阀联动同步调平,适配各类精密设备悬浮支撑场景。广泛应用于精密加工机床、光学检测仪器、半导体设备、实验室精密试验平台等高精度工况,为精密设备的检测精度与加工稳定性提供可靠的水平控制保障。
产品特点:
采用机械悬浮式结构设计,无需电控元件即可精准感应台面水平位移,自动触发充放气动作;
调节精度可达0.05mm,可精准修正设备倾斜,维持高精度水平状态;
反应时间仅 1~2.5s,快速响应,动态自适应;
无电子元器件,抗电磁干扰,耐工业环境,长期运行故障率极低;
应用范围:
与薄膜空气弹簧、高精度空气弹簧配套使用,广泛应用于气浮光学平台、大理石气浮隔振平台、精密设备气浮隔振基座、半导体检测设备隔振台、精密测量仪器隔振系统等场景,用于解决设备载荷变化、重心偏移造成的倾斜问题,保障精密设备的水平工作基准。
技术指标:
调节精度:±0.05~0.1mm
反应时间:1~2.5s
工作压力范围:0~6bar
最大工作流量:6bar 工况下,节流阀全开 35L/min
工作温度范围:0~50℃
规格型号:
项目 | LSD矮阀 | LSD 高阀 | LSD -HI阀(高精度) | LSC阀 |
|---|---|---|---|---|
法兰盘直径 | Φ63 mm | Φ63 mm | Φ63 mm | / |
安装孔中心距 | 26 mm | 26 mm | 26 mm | / |
产品总高度 | 55 mm | 78.5 mm | 78.5 mm | / |
主体高度 | 50 mm | 74 mm | 74 mm | / |
安装孔规格 | 2×Φ5.5 mm | 2×Φ5.5 mm | 2×Φ5.5 mm | 2×Φ5.5 mm |
调节精度 | 0.1mm | 0.1mm | 0.05mm | 0.1mm |

